機型：R-BC10
端導真鍍機主要參數
規格 | 規范 | 功能確認 | 備注 |
適用產品型別 | 0402 0603 0805 1206型別(需指定) | 真空檢測 | 復合真空計（含電阻規+電離規） |
電源 | 3P4W 220V/380V 50Hz | 濺射方式 | 直流脈沖磁控濺射，功率12KW |
氣壓 | 5kg/c㎡ 以上(飽和壓力) | 治具濺射方式 | 自傳+公轉夾角濺射，轉速0~5r/min可調 |
操作接口 | 觸控屏幕 | 工作氣體輸送 | 質流量計（MFC）＋電磁閥組合,輸入Ar(0~100sccm±0.1%) |
產能 | 30min/爐 | 空載極限真空 | 1.0×10-4Pa |
良率 | 99%以上 | 泄漏率 | 真空度由1.0×10-4Pa降至5.0×10-2Pa時間≥5min |
稼動率 | 85% | 空載抽速 | 常壓到6.0×10-2Pa用時≤10min |
抽真空系統 | 油擴散泵+機械泵系統 | 阻抗 | 測量單片瓷條端面阻抗小于100Ω |
端導真鍍機功能說明
腔體：
1.轉盤
2.治具
真空計：
1.復合式數顯真空計
2.電阻規
3.電離規
濺射靶：
1.鎳鉻靶材
2.磁控源
真空閥：
1.主閥
2.底閥
3.粗抽閥
4.節流閥
5.管道閥（連接各泵浦管道閥門）
水冷系統：
1. 進出水管路
2. 水壓表及缺水報警器
電柜：
1.人機界面
2.磁控電源
3.偏壓電源
抽真空系統：
1.單片旋片泵
2.擴散泵
軟件功能：
1.制程報告記錄
2.可預設10組工作參數
3.警訊履歷
4.真空度、電流、電壓趨勢圖
5.Target換靶預警功能
6.硬件動作interlock、錯誤動作保護功能
設備性能：
1.本設備采用單片旋葉泵+擴散泵組合抽真空系統，抽真空速度較快，從大氣壓抽到工作真空需要約5MIN,比之前設備節約25min/爐以上。效率提升30%-50%，單爐生產在25-30min以內。
2.保養周期長，連續生產無需保養（除日常靶材保養），受環境影響較小，無停機后重啟時間上等問題。
3.優良的人機通訊功能，操作更便捷?？蛇B續存儲一年的工藝參數，便于品質跟蹤。強大的數據處理功能，可與現場ERP連接使用。
